一、電極材質純度要求

金屬離子溶出限制?

超純水兼容性?：電極材質需滿足ASTM E1-11標準，金屬離子溶出量<0.1ppb（如鈦Ta2O5涂層或鉑金電極）?；

表面粗糙度?：Ra≤0.2μm，減少微觀孔隙吸附雜質?。

材質選擇?

惰性金屬?：優(yōu)先選用316L不銹鋼（電解拋光）或哈氏合金C-276，避免銅、鋅等易溶出金屬?；

絕緣涂層?：聚四氟乙烯（PTFE）或氧化鋁陶瓷涂層，隔離電極與介質直接接觸?。

二、避免電極污染的措施

結構設計?

非接觸式測量?：采用電容耦合技術，電極與介質間通過絕緣層（如藍寶石）隔離，避免物理接觸?；

自清潔功能?：集成超聲波振動模塊（頻率40kHz），周期性清除電極表面吸附層?。

工藝控制?

潔凈裝配?：電極在Class 100無塵室中封裝，避免組裝污染?；

惰性氣體保護?：傳感器腔體充填高純氮氣（純度≥99.999%），防止氧化?。

00:02 斷電斷水防風險

00:13 定位泄漏源

00:28 分級修復

三、驗證與維護

定期校準?：使用在線電阻率儀（如Mettler Toledo）監(jiān)測介質純度變化，偏差>0.5MΩ?cm時觸發(fā)報警?；

電極壽命?：建議每12個月更換一次，或根據溶出檢測結果（ICP-MS分析）決定?。

通過上述措施，可確保電容式射頻導納物位計在超純水系統(tǒng)中長期穩(wěn)定運行，同時維持介質的高純度要求?。